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CA224IV

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Parameter

Type		Standard
Standard		200/150 mm（SEMI Standard）
Grap		High Vacuum, Frict
End Effector		380 mm
Shaft Number		4 Shaft Number
Range	Z(Lifting)	150mm
	R（Max）	±170°
	θ（Max）	±170°
	A（finger）	±220°
Min Radio		500 mm（200mm wafer） 500 mm（150mm wafer）
Reach Max.		1350 mm
Reliability		±0.1mm
Weight		75 kg
Partial		ISO 1
Vacuum		less than e-6 Pa

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