CA11125 M-E

Collect

Type		Standard
Standard		300 mm（SEMI Standard）
Grap		Clamping
End Effector		>400 mm
Shaft Number		4Shaft Number
Range	Z(Lifting)	60mm
	R（Max）	±100°
	Finger rotation	±100°
Turning radius（min）		750 mm
Arm length （Max）		1150mm
accuracy（Repeated positioning）		±0.1mm
Simultaneously handling the number of wafers		25 slice
weight		90 kg
Partial		ISO 1